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March AP-600 等离子清洗机
点击图片查看原图
产品: 浏览次数:323March AP-600 等离子清洗机 
品牌: March
单价: 面议
最小起订量: 1 台
供货总量(库存): 1000 台
发货期限: 自买家付款之日起 60 天内发货
有效期至: 2021-09-11
最后更新: 2020-09-12 14:44
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详细信息
March AP-600 等离子清洗机

特点和优势
* 触摸屏控制,图形用户界面显示实时工艺信息
* 灵活的电极布局适用于各种不同的零件、元件或载具
* 13.56 MHz 射频发生器带自动调谐网络,提供良好的工艺重复性。
* 方便的厂务设施连接,用于验证工艺的定期校准需求。

先进的、紧凑的桌面结构等离子处理 
诺信MARCH的AP-600 等离子清洗机系统是设计用于提供均匀的等离子清洁和处理。具有良好的操作简单性、可靠性,以及更低的设备成本。
AP-600是完全自包含的系统,占用较小的桌面面积。系统机架将等离子腔体、电子控制、13.56 MHz射频发生器、自动调谐网络(仅仅真空泵是独立于系统之外的)都包含在内。设备维护是通过一个互锁门和可拆箱面板来进入设备内部的。
等离子腔体是由高质量的铝和铝固定装置构成的,具有良好的耐用性。等离子腔体支持最多达到7层可以移动电源或接地电极板,以适合广泛的零件、元件、载具、托盘、料盒或各种舟。


等离子清洗,表面活化和附着力改善
AP-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。
AP-600系统能够适合广泛的工艺气体,包括氩气、氧气、氢气、氦气及氟化气体。通过2个标准配置的气体流量控制器控制用于良好的气体控制。系统还可以选配2路气体,即最多可达4路。

规格: 
外形尺寸
W (宽)x D(长) x H(高) – 占地面积 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米 
净重                                 221公斤 (487磅)
设备间隙                         右侧、左侧、前面–至少 569毫米,后面–至少254毫米
处理腔体
最大容量                         50.4 升
多钟电极配置                         电源-接地、接地-电源、电源-电源
电极插槽数                         7
电极间距                         25.4毫米
电极
电源电极面积                         330(宽) x 330(进深) 毫米
多孔接地电极面积                        368(宽) x 330(进深) 毫米
悬浮电极面积                         330(宽) x 330(进深) 毫米
射频电源
标配电源                         600 W
频率                                 13.56 MHz
气体控制
流量计                                 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)
MFC最多可配置数量                 4

控制和接口
软件控制                         PLC 控制,触摸屏界面
远程接口                         Plasmalink, Processlink
真空泵
标配油泵                         19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有氧油除雾器
选配油泵                         19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有防锈油除雾器
选配干泵                         22cfm (立方英尺/分钟)
干泵净化氮气用量                 2slm (升/分钟)

厂务设施
电源供应                         110 VAC,20A,50/60Hz,单相,12AWG,3线;或220 VAC, 10A,50/60 Hz,单相,12 AWG,3线
工艺气体管径及接口类型                 外径6.35毫米(0.25英寸),Swagelok管
工艺气体纯度                         实验室或电子等级
工艺气体压力                         最小0.69 bar (10 psig)至最大1.03 bar (15 psig),可调节
净化气体管径及接口类型                 外径6.35 毫米(0.25 英寸),Swagelok管
净化气体纯度                         实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力                         最小2 bar (30 psig) 至最大6.9 bar (100 psig),可调节
气动阀接口及管径                 外径6.35 毫米(0.25 英寸),Swagelok管
压缩空气纯度                         CDA、无油、露点温度 ≤7°C (45°F),微粒直径 <5 μm
压缩空气压力                         最小3.45 bar (50 psig) 至最大6.89 bar (100 psig) ,可调节
排气                                 外径38毫米(1.5 英寸)管道法兰

符合标准
半导体                                 通过S2/S8 (环境&健康/人体工程学)认证
国际                                 通过CE认证
辅助设备
气体发生器                         氮气氢气(需要其它不可选硬件)
设施                                 冷却器、洗涤器

 

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